Zeiss F25 Nanomessmaschine



Die luftgelagerte, ultrapräzise Kinematik kombiniert mit einem hochgenauen Messsystem ermöglicht eine Messgenauigkeit im Nanometerbereich. Durch diese hohe Auflösung und das exakte Regelverhalten der Linearantriebe können noch Bohrungen mit einem Durchmesser unter einem Millimeter taktil gemessen werden. Die Präzision der Messleistung wird durch den klaren geometrischen Aufbau der Maschine visualisiert. Bedingt durch die Fertigung in Kleinserien ist die Gehäusetechnik komplett für Blech ausgelegt.


Design Anforderungen

  • Visualisierung der hohen Messpräzision

  • Minimalisierung der vorgegebenen Maschinenstruktur

  • hohe Wertigkeitsanmutung


Technische Anforderungen

  • Berücksichtigung einer Kleinserienfertigung

  • Berücksichtigung der mechanischen Struktur

  • Berücksichtigung eines abgeschlossenen Messraums mit erhöhtem Innendruck